溅射靶材主要由什么构成？绑定背靶起到什么作用？

1. 溅射靶材主要由什么构成？绑定背靶起到什么作用？

背靶绑定是指用焊料将靶材与背靶焊接起来.主要有三种的方式:压接、钎焊和导电胶.靶材绑定常用钎焊,钎料常用In、Sn、In –Sn,一般使用软钎料的情况下,要求溅射功率小于20W/㎝
为什么要绑定背靶？
1、防止靶材受热不匀碎裂,例如ITO、SiO2、陶瓷等脆性靶材及烧结靶材;
2、节省成本,防止变形,如靶材太贵,可将靶材做薄些,绑定背靶以防止变形.
背靶的选择
1、中诺新材（北京）科技有限公司常用无氧铜,导电性好,无氧铜的导热性比紫铜好;
2、厚度适中,一般建议背靶厚度3mm左右.太厚,消耗部分磁强;太薄,容易变形.
绑定过程1、绑定前将靶材和背靶表面预处理
2、将靶材和背靶放置在钎焊台上,升温到绑定温度
3、将靶材和背靶金属化
4、粘接靶材和背靶
5、降温和后处理